1.分辨率與脈沖當量        分辨力是指兩個相鄰的分散細節之間可以分辨的最小間隔。對觀測系統而言，分辨力是可以測量的最小增量：對控制系統而言，分辨力是可以控制的最小唯一位移量，最精密的數控系統的分辨力已達0.001um。數控裝置每發出一個脈沖信號，反應到機床移動部件上的移動量，稱為脈沖當量。脈沖當量是設計數控機床的原始數據之一，其數值大小決定數控機床的極愛工精度和表面質量。脈沖當量越小。數控機床加工精度越高，加工表面質量越好。簡易數控機床的脈沖當量為0.01mm，普通數控機床的脈沖當量為1um，精密度或超精精密數控才的脈沖當量為0.1um

2.定位精度與重復定位精度      定位精度是指數控機床工作臺等移動部件在確定的終點所達到的實際位置的精度，因此移動部件實際與理想位置之間的誤差成為定位誤差。定位誤差包括伺服系統，檢測系統，進給系統等誤差，好包括移動部件導軌的幾何誤差等，定位誤差將直接影響零件加工的位置精度。

重復定位精度是指在同一臺數控機床上，應用相同程序、相同代碼加工一批零件，所得到連續結果的一致程度，重復定位精度受伺服系統特性、進給系統的間隙與剛性以及摩擦特性等因素的影響，一般情況下，重復定位精度是成正太分布的偶然性誤差，它影響一批零件加工的一致，是一項非常重要的性能指標。

3.分度精度   分度精度是指分度工作臺在分度時，理論時要求回轉的角度值和實際回轉角度值的差值、生產效率以及刀具壽命的主要因素之一，同時還會對孔系加工的同軸度等造成一定的影響。